晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導(dǎo)線長：2mE2A-M18KN16-WP-B2 2M分類:專用型。
名稱：用于表面測溫。
溫度范圍：-50～+250℃。
元件種類：Pt100。
方式：3導(dǎo)線式。
等級：B級（B級）。
保護(hù)材質(zhì)：SUS304。
端子形狀：導(dǎo)線直出型。
記記載頁：19。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應(yīng)品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。尺寸：M18（黃銅），兩倍距離型，非屏蔽型。
檢測距離：16mm。
連接方式：M12接插件型。
螺紋長度：長螺紋型。
輸出類型：PNP。
動作模式NC。
樹立世界新標(biāo)準(zhǔn)的經(jīng)濟(jì)型接近傳感器。
作為接近傳感器行業(yè)開拓者和領(lǐng)導(dǎo)者的歐姆龍，
現(xiàn)在為您帶來高性價比的全新E2B接近傳感器。
本系列產(chǎn)品種類齊全，
旨在以合理的價格滿足客戶對傳感器高品質(zhì)和高可靠性的要求。
我們不僅就防護(hù)等級(IP67)的特定項目對產(chǎn)品進(jìn)行了測試，
還考慮作業(yè)現(xiàn)場的環(huán)境條件對其進(jìn)行了耐油霧測試。
在油霧濃度較高的環(huán)境下實施了仿真測試。通過按鈕型檢測方式的采用，能準(zhǔn)確檢測以往難以檢測的物體。
符合半導(dǎo)體FOUP盒規(guī)格，不受地面材質(zhì)、顏色、反射率的 影響，
準(zhǔn)確檢測FOUP盒的落座情況。
薄型設(shè)計可實現(xiàn)搬運(yùn)臂上的搭載。
4方向指示燈提高視覺辨識性。
以光學(xué)方式檢測驅(qū)動器的動作，實現(xiàn)超長使用壽命（機(jī)械 壽命500萬次以上）。
備有NPN/PNP兩種輸出模式。
還備有柔韌性佳的耐曲折導(dǎo)線型。
檢測距離：0-3.5mm。
檢測方式：按鈕型。
輸出形式：NPN輸出。
動作模式：無負(fù)載時 OFF。
導(dǎo)線長：1m（耐曲折導(dǎo)線）。螺紋長度為長尺寸的接近傳感器。
提升緊固強(qiáng)度外，還標(biāo)配導(dǎo)線保護(hù)器。
提升指示燈的可視性，所有機(jī)型全部采用扳手夾緊用銑切。
種類：直流3線式。
形狀：屏蔽，M18。
檢測距離：10mm。
動作模式：NC。端子部形狀:導(dǎo)線直出型。
保護(hù)管直徑D:φφ4.8mm。
保護(hù)管長度L：35cm。
導(dǎo)線種類：耐熱用。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以以往的M3螺釘對應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應(yīng)品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。