尺寸：96×96mm。
本體：端子臺型，溫度輸入型。
種類：控制輸出1點型（電源AC100～240V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標準或加熱冷卻E5EC-CX4DSM-000解決方案指南手冊。
輔助輸出點數(shù)：3點。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源：ES1B用電源E5EC-CX4DSM-000
事件輸入點數(shù)：2點。
傳送輸出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預防維護功能，性能進一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預防維護溫控器內部繼電器E5EC-CX4DSM-000解決方案指南手冊。
增加了3段顯示，可同時顯示易于理解的當前值/目標值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動/手動、RUN/STOP等，可實現(xiàn)一鍵操作。晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式。
使用環(huán)保導線（無滑石粉）。種類：端子臺型，溫度輸入型。
本體：控制輸出1點型（電源AC100～240V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：電壓輸出（SSR驅動用）。
控制模式：標準。
輔助輸出點數(shù)：--。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流升級＆功能/性能提升E5EC-CX4DSM-000解決方案指南手冊。
指示精度提升、增加了預防維護功能，性能進一步提升
提供端子臺型和無螺釘夾具端子臺型。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，
可預防維護溫控器內部繼電器。
3種顏色顯示切換當前值（PV）。
適用支持軟件（CX-Thermo-Ver.4.2以上）。
可11段數(shù)字顯示。
提供報警輸出1點型和2點型。端子部形狀:導線直出型。
保護管直徑D:φ3.2mm。
保護管長度L：15ccmE5EC-CX4DSM-000手冊。
導線種類：耐熱用。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以以往的M3螺釘對應品的基礎上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應品E5EC-CX4DSM-000手冊。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應部件。
可根據要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產品。